| 发明名称 |
FORMATION OF THIN FILM, THIN FILM FORMING DEVICE, LASER BEAM IRRADIATION DEVICE AND BOMBARDMENT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0610117(A) |
申请公布日期 |
1994.01.18 |
| 申请号 |
JP19920193102 |
申请日期 |
1992.06.26 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
MIYOSHI HIROSHI;CHIBA KAZUNOBU;KATO YOSHIKATSU |
| 分类号 |
C23C14/22;C23C14/56;G11B5/85;H01F41/14;H01F41/20;(IPC1-7):C23C14/22 |
主分类号 |
C23C14/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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