| 发明名称 |
FORMATION OF THIN FILM AND THIN FILM FORMING DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0610119(A) |
申请公布日期 |
1994.01.18 |
| 申请号 |
JP19920166407 |
申请日期 |
1992.06.24 |
| 申请人 |
SUMITOMO HEAVY IND LTD |
发明人 |
YAMADA HIROSHIGE;MASUI ARATA;KATO TAKANORI |
| 分类号 |
C23C14/28;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/28 |
主分类号 |
C23C14/28 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
