| 摘要 |
PARA EL TRATAMIENTO DE CUERPOS EN FORMA DE DISCO, ESPECIALMENTE DE DISCOS SEMICONDUCTORES EN UNA INSTALACION DE VACIO, ESTOS DEBEN TRANSPORTAR Y DEPOSITARSE ENTRE LAS ESTACIONES. UN DISCO (17) SE APOYA EN SU BORDE CON DOS BRAZOS DE SOPORTE (21) CON DOS DEDOS CADA UNO (22) Y SUPERFICIE DE APOYO EN LOS EXTREMOS DE LOS DEDOS EN CUATRO PARTES REPARTIDAS POR EL PERIMETRO DEL DISCO (17). CON EL FIN DE DISMINUIR O AGRANDECER LA DISTANCIA ENTRE LOS BRAZOS DE SOPORTE (21) AL RECOGER O LIBERAR EL DISCO, AMBOS BRAZOS CON FIJADOS EN UNA UNIDAD DE CILINDRO/EMBOLO (24). ALLI SE MUEVE EL CILINDRO (27) DE FORMA RELATIVA AL EMBOLO FIJO (25). AMBOS EXTREMOS DEL EMBOLO SON FIJADOS, UNO EN FRENTE DEL OTRO, EN UN EJE DE GIRO (26) QUE VA VERTICALMENTE A LOS EJES DE LOS CILINDROS CON LOS QUE SE PUEDEN GIRAR LAS DOS UNIDADES DE CILINDRO/EMBOLO (24) CON LOS BRAZOS DE SOPORTE (21) DE UNA ESTACION A LA SIGUIENTE DENTRO DE LA INSTALACION DE VACIO. LAS DOS UNIDADES DE CILINDRO/EMBOLO (24) SE ACTIVAN MEDIANTE UN MEDIO DE PRESION QUE VA POR CONDUCTOS (31) QUE PASAN POR EL EJE DE GIRO HUECO (26) Y POR LOS EMBOLOS HUECOS PARA ABRIR LOS BRAZOS DE SOPORTE (21) EN CONTRA DEL EFECTO DE UN RESORTE DE PRESION (34) QUE SE APOYA DENTRO DEL CILINDRO (27) EN ESTE Y EN EL EMBOLO (29) PARA EL MOVIMIENTO CONTRARIO DE ELEVACION.
|
