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发明名称 LASERSTRAHLERZEUGER FUER EINE ROENTGENSTRAHLLITHOGRAPHIE-VORRICHTUNG.
摘要
申请公布号 AT99842(T) 申请公布日期 1994.01.15
申请号 AT19870303260T 申请日期 1987.04.14
申请人 HAMPSHIRE INSTRUMENTS, INC 发明人 ABATE, JOSEPH A.;DUFT, THOMAS L.;FORSYTH, JAMES M.;HOOSE, JOHN F.;ZAMBELLI, ROBERT Z.;DRUMMOND, MALCOLM M.
分类号 G03F7/20;(IPC1-7):H01S3/23;H01J35/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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