发明名称 HEAT TREATMENT FURNACE
摘要
申请公布号 JPH065535(A) 申请公布日期 1994.01.14
申请号 JP19920184472 申请日期 1992.06.18
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 TAKEUCHI HIDEKI
分类号 H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址