发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH065630(A) 申请公布日期 1994.01.14
申请号 JP19920159075 申请日期 1992.06.18
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUMURA TAKAO
分类号 H01L21/302;H01L21/338;H01L29/47;H01L29/812;H01L29/872;(IPC1-7):H01L21/338;H01L29/48 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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