发明名称 FORMATION OF VIA HOLE
摘要
申请公布号 JPH065721(A) 申请公布日期 1994.01.14
申请号 JP19920165213 申请日期 1992.06.24
申请人 NEC CORP 发明人 NODA KENJI
分类号 H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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