发明名称 FABRICATION OF GAAS-IC
摘要
申请公布号 JPH065799(A) 申请公布日期 1994.01.14
申请号 JP19920184421 申请日期 1992.06.18
申请人 FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE 发明人 NAKAMURA YOSHIO;KIKUTA TOSHIO
分类号 H01L21/76;H01L21/8232;H01L27/06;H01L27/095;(IPC1-7):H01L27/095 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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