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经营范围
发明名称
MULTI-CHAMBER PROCESS DEVICE
摘要
申请公布号
JPH065688(A)
申请公布日期
1994.01.14
申请号
JP19920163283
申请日期
1992.06.23
申请人
SONY CORP
发明人
SUGANO YUKIYASU
分类号
H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/677
代理机构
代理人
主权项
地址
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