发明名称 MULTI-CHAMBER PROCESS DEVICE
摘要
申请公布号 JPH065688(A) 申请公布日期 1994.01.14
申请号 JP19920163283 申请日期 1992.06.23
申请人 SONY CORP 发明人 SUGANO YUKIYASU
分类号 H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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