发明名称 VAPOR GROWTH METHOD FOR ORGANIC METAL
摘要
申请公布号 JPH065515(A) 申请公布日期 1994.01.14
申请号 JP19920183230 申请日期 1992.06.17
申请人 FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE 发明人 IKEDA MASAKIYO
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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