发明名称 HANDLER OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH065418(A) 申请公布日期 1994.01.14
申请号 JP19920186004 申请日期 1992.06.19
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MORIWAKI SHOHEI
分类号 B25J15/06;H01F7/20;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01F7/20 主分类号 B25J15/06
代理机构 代理人
主权项
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