| 发明名称 |
TORCH TUBE FOR GENERATION OF MICROWAVE PLASMA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH065384(A) |
申请公布日期 |
1994.01.14 |
| 申请号 |
JP19920157745 |
申请日期 |
1992.06.17 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
OKUDAIRA HIDEKAZU;MITSUI YASUHIRO;KOGA TADATAKA;OKUMOTO TOYOJI;OKAMOTO YUKIO |
| 分类号 |
G01N21/73;H05H1/30;(IPC1-7):H05H1/30 |
主分类号 |
G01N21/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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