| 发明名称 |
SCANNING TYPE ELECTRON BEAM DEVICE AND IMAGE OBTAINING METHOD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH065245(A) |
申请公布日期 |
1994.01.14 |
| 申请号 |
JP19920163110 |
申请日期 |
1992.06.22 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
ABE TAKAYUKI;NAKAZAWA KAZUHIRO;ITO AKIO |
| 分类号 |
G01R31/302;H01J1/30;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28 |
主分类号 |
G01R31/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
