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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH065536(A) 申请公布日期 1994.01.14
申请号 JP19920158108 申请日期 1992.06.17
申请人 SONY CORP 发明人 TSUKAMOTO HIRONORI
分类号 H01L21/26;H01L21/265;H01L21/268;H01L21/324;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/268;H01L29/784 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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