发明名称 HEAT TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH065614(A) 申请公布日期 1994.01.14
申请号 JP19920157755 申请日期 1992.06.17
申请人 MURATA MFG CO LTD 发明人 BENZAKI KIYOTAKA
分类号 H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
地址