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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH065540(A) 申请公布日期 1994.01.14
申请号 JP19920188657 申请日期 1992.06.23
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 TAKEUCHI HIDEKI
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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