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发明名称 ION SOURCE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH065219(A) 申请公布日期 1994.01.14
申请号 JP19920188586 申请日期 1992.06.22
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 MIYAKE KOJI;TAWARA HIDEAKI;MATSUBARA KATSUO
分类号 H01J27/08;H01J37/08;(IPC1-7):H01J27/08 主分类号 H01J27/08
代理机构 代理人
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