发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PERFORMING NON-CONTACT PLASMA POLISHING AND SMOOTHING FOR UNIFORMLY THINNED SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH065571(A) 申请公布日期 1994.01.14
申请号 JP19930038513 申请日期 1993.02.26
申请人 HUGHES AIRCRAFT CO 发明人 CHIYAARUZU BII ZAROUIN
分类号 C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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