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发明名称 SUBSTRATE CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH065577(A) 申请公布日期 1994.01.14
申请号 JP19920181863 申请日期 1992.06.16
申请人 NEC CORP 发明人 SAEKI KAZUO
分类号 H01L21/304;B08B3/12;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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