发明名称 FORMATION OF PLATINUM PATTERN
摘要
申请公布号 JPH065719(A) 申请公布日期 1994.01.14
申请号 JP19920205860 申请日期 1992.06.23
申请人 HONDA MOTOR CO LTD 发明人 DOI MIZUHO;FUEKI NOBUHIRO;NISHIO TOMOYUKI;HOSOI TAKASHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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