发明名称 METHOD FOR ANNEALING SEMICONDUCTOR LAYER
摘要
申请公布号 JPH065538(A) 申请公布日期 1994.01.14
申请号 JP19920185666 申请日期 1992.06.22
申请人 CASIO COMPUT CO LTD 发明人 YAMADA HIROYASU
分类号 H01S3/00;H01L21/20;H01L21/268;(IPC1-7):H01L21/268 主分类号 H01S3/00
代理机构 代理人
主权项
地址