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发明名称 Verfahren und Vorrichtung um eine Linie auf einem strukturierten Substrat zu schreiben.
摘要
申请公布号 DE3787440(T2) 申请公布日期 1994.01.13
申请号 DE19873787440T 申请日期 1987.11.19
申请人 NEC CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 UESUGI, FUMIHIKO C/O NEC CORPORATION, MINATO-KU TOKYO, JP;MORISHIGE, YUKIO C/O NEC CORPORATION, MINATO-KU TOKYO, JP
分类号 H01L21/268;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/205;H01L21/90 主分类号 H01L21/268
代理机构 代理人
主权项
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