发明名称 |
PHOTODEFINABLE INTERLEVEL DIELECTRICS. |
摘要 |
Dans cette invention on forme sur un substrat une structure prédéterminée d'un polymère diélectrique réalisé à partir d'un premier prépolymère correspondant à l'éther du produit de condensation oligomère du phénol dialcool et du formaldéhyde ou d'un mélange dudit oligomère avec un deuxième prépolymère qui est l'éther du produit de condensation oligomère d'un dialdéhyde et de 3 ou 4 moles d'un phénol. |
申请公布号 |
EP0577743(A1) |
申请公布日期 |
1994.01.12 |
申请号 |
EP19920910267 |
申请日期 |
1992.03.25 |
申请人 |
ALLIED-SIGNAL INC. |
发明人 |
ZUPANCIC, JOSEPH, JAMES |
分类号 |
C08G8/20;G03F7/027;G03F7/038;H01B3/42;H01L21/312;H05K1/03;H05K3/46;(IPC1-7):G03F7/038 |
主分类号 |
C08G8/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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