发明名称 PHOTODEFINABLE INTERLEVEL DIELECTRICS.
摘要 Dans cette invention on forme sur un substrat une structure prédéterminée d'un polymère diélectrique réalisé à partir d'un premier prépolymère correspondant à l'éther du produit de condensation oligomère du phénol dialcool et du formaldéhyde ou d'un mélange dudit oligomère avec un deuxième prépolymère qui est l'éther du produit de condensation oligomère d'un dialdéhyde et de 3 ou 4 moles d'un phénol.
申请公布号 EP0577743(A1) 申请公布日期 1994.01.12
申请号 EP19920910267 申请日期 1992.03.25
申请人 ALLIED-SIGNAL INC. 发明人 ZUPANCIC, JOSEPH, JAMES
分类号 C08G8/20;G03F7/027;G03F7/038;H01B3/42;H01L21/312;H05K1/03;H05K3/46;(IPC1-7):G03F7/038 主分类号 C08G8/20
代理机构 代理人
主权项
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