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发明名称
摘要
申请公布号 JPH063806(B2) 申请公布日期 1994.01.12
申请号 JP19850132918 申请日期 1985.06.20
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 YOSHIDA JIRO;AZUMA MINORU
分类号 H01L29/201;H01L21/331;H01L29/20;H01L29/205;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/201
代理机构 代理人
主权项
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