ARC SOURCE MACROPARTICLE FILTER.

摘要

Filtre (1) pour macroparticules de source à arc comprenant une cathode circulaire (2) destinée à émettre des particules et une anode cylindrique allongée (3) adjacente à la cathode et co-axiale par rapport à cette dernière, servant à accélérer les particules émises. Des inductances toriques (4) génèrent un champ magnétique qui définit un conduit (5) non linéaire et continu pour le plasma, servant à diriger les particules chargées et à séparer dudit plasma les particules indésirables de plus grande dimension. Le conduit est non linéaire minimalement afin d'obtenir de grandes vitesses pour la transmission des particules chargées. Le filtre de source à arc (1) permet d'effectuer le chauffage et/ou la déposition de divers revêtements superficiels sur une pièce à travailler (8). Cette invention concerne également un procédé servant à produire du dioxyde de vanadium.