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发明名称
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申请公布号 JPH063725(B2) 申请公布日期 1994.01.12
申请号 JP19860116481 申请日期 1986.05.21
申请人 ADVANTEST CORP 发明人 NIIJIMA HIRONOBU
分类号 G01R31/26;G01R31/302;H01J37/147;H01J37/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01J37/28 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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