发明名称 METHOD AND EQUIPMENT FOR VISUAL INSPECTION
摘要
申请公布号 JPH063123(A) 申请公布日期 1994.01.11
申请号 JP19920166310 申请日期 1992.06.24
申请人 HITACHI DENSHI LTD;HITACHI LTD 发明人 HAYASHI SEIICHI;NAKANISHI MASATAKE;NAKAGAWA YASUO;TAKAGI YUJI
分类号 G01B11/24;G01B11/245;G01N21/88;G01N21/892;G01N21/956;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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