发明名称 |
METHOD AND EQUIPMENT FOR VISUAL INSPECTION |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH063123(A) |
申请公布日期 |
1994.01.11 |
申请号 |
JP19920166310 |
申请日期 |
1992.06.24 |
申请人 |
HITACHI DENSHI LTD;HITACHI LTD |
发明人 |
HAYASHI SEIICHI;NAKANISHI MASATAKE;NAKAGAWA YASUO;TAKAGI YUJI |
分类号 |
G01B11/24;G01B11/245;G01N21/88;G01N21/892;G01N21/956;(IPC1-7):G01B11/24 |
主分类号 |
G01B11/24 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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