发明名称 METHOD FOR CLEANING AND DRYING AND APPARATUS THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06459(A) 申请公布日期 1994.01.11
申请号 JP19920184647 申请日期 1992.06.19
申请人 T H I SYST KK 发明人 TSUKAZAKI HIDEO
分类号 B08B3/04;B08B3/12;B08B7/00;F26B5/04;H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):B08B3/04 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
主权项
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