| 发明名称 |
METHOD OF CUTTING SINGLE-CRYSTAL GALLIUM ARSENIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06813(A) |
申请公布日期 |
1994.01.11 |
| 申请号 |
JP19920186240 |
申请日期 |
1992.06.19 |
| 申请人 |
FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE |
发明人 |
MATSUSHITA HIROYUKI;KUSUNOKI YOSHIHISA |
| 分类号 |
H01L21/304;B28D5/00;B28D5/02;(IPC1-7):B28D5/00;B28D1/22 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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