| 发明名称 |
CLEANING METHOD OF DEPOSITED FILM FORMING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH062143(A) |
申请公布日期 |
1994.01.11 |
| 申请号 |
JP19920180549 |
申请日期 |
1992.06.16 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
YOSHINO TOSHIHITO;MURAKAMI HITOSHI;YAMAZAKI KOJI;EBARA TOSHIYUKI |
| 分类号 |
C23C16/00;C23C16/44;C23C16/455;C23F4/00;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C23C16/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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