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<p>Das erfindungsgemäße Mikroventil ist aus mindestens einem Unterteil (11), einem Mittelteil (12) und einem Oberteil (13) schichtförmig zusammengesetzt. In das Mittelteil (12) sind der Dichtkranz (31) (Schließglied), der Ventilteller (29) (Druckausgleichsfläche) und die Membran (26) integriert, wobei dieses einstückige Bauteil durch einen Kunststofformprozeß hergestellt wird. Die Betätigung des Ventils erfolgt mit einem elektrischen Betriebsmittel, zum Beispiel durch einen elektrostatischen Antrieb, einen elektromagnestischen oder einen piezoelektrischen Antrieb. Insbesondere beim elektrostatischen Antrieb werden zwei Elektroden (17, 22) schichtförmig auf das Mittelteil (12) bzw. das Unterteil (11) aufgebracht. Unterteil, Mittelteil und Oberteil werden zusammengefügt und dauerhaft miteinander verbunden, zum Beispiel verklebt oder verschweißt.</p> |
