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发明名称 Laser beam generator for use with an X-ray lithography system.
摘要
申请公布号 EP0242178(B1) 申请公布日期 1994.01.05
申请号 EP19870303260 申请日期 1987.04.14
申请人 HAMPSHIRE INSTRUMENTS, INC 发明人 ABATE, JOSEPH A.;DUFT, THOMAS L.;FORSYTH, JAMES M.;HOOSE, JOHN F.;ZAMBELLI, ROBERT Z.;DRUMMOND, MALCOLM M.
分类号 H01J35/06;G03F9/00;G03F7/20;H01J35/22;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/68;H01S3/101;H01S3/23;H05G2/00;H05H1/22;(IPC1-7):H01S3/23;H01J35/00 主分类号 H01J35/06
代理机构 代理人
主权项
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