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发明名称 Interferometer
摘要
申请公布号 DE8817182(U1) 申请公布日期 1994.01.05
申请号 DE19880017182U 申请日期 1988.07.28
申请人 DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH, 83301 TRAUNREUT, DE 发明人
分类号 G01B9/02;G01J9/02;G01N21/45;(IPC1-7):G01J9/02;G02B6/12;G02F1/21 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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