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发明名称
摘要
申请公布号 JPH061772(B2) 申请公布日期 1994.01.05
申请号 JP19860055314 申请日期 1986.03.12
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NIWA HIDEO
分类号 H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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