| 发明名称 | 对于表面进行光学扫描用的装置 | ||
| 摘要 | 本发明所述的装置用于以物镜(10)形成的焦点(11)对表面(2)进行光学扫描。该物镜以电磁方式悬置在静止不动的线圈系统(14)中，此线圈系统可驱使物镜以五个自由度运动。光束(21)经过转镜(22)和扫描透镜(23)之后被整形为准直光束(24)，此准直光束靠转镜的转动可平行其自身移动，以便跟踪物镜的运动。 | ||
| 申请公布号 | CN1080419A | 申请公布日期 | 1994.01.05 |
| 申请号 | CN93106985.8 | 申请日期 | 1993.06.16 |
| 申请人 | 菲利浦电子有限公司 | 发明人 | G·E·范洛斯马伦 |
| 分类号 | G06K7/10;G02B26/10 | 主分类号 | G06K7/10 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 王岳;程天正 |
| 主权项 | 1、一种对表面进行光学扫描用的装置，它包括用于提供辐射光束的光源、安装在物镜系统上面以将光束聚焦在该表面上的物镜，以及用以使物镜系统在给定行程范围内移动的驱动机构，其特征在于，在光源和物镜之间光束的行进路程中安装有其长度约等于行程长度的光焦度元件，而且该装置包括安装在光源和上述光焦度元件之间的扫描机构，以便透过光焦度元件进行光束扫描，借以将光束平行其自身在物镜系统行程数量级的距离范围内移动。 | ||
| 地址 | 荷兰艾恩德霍芬 | ||