管式纳米级超细微粒制备方法

摘要

本发明公开了一种管式纳米级微粒制备方法，它是以金属蒸气，或者卤化物，氢化物和有机金属化合物为原料，在管式高温反应炉的真空和惰性气体中，气相加热和化学反应合成微粒，即被急冷抽至粉末收集装置中的超细微粒制备方法。金属蒸气为Ag、Ni、Cu，卤化物为CH₃SiCl₃、SiCl₄、ACl₃，氢化物为SiH₄、C₂H₄、CH₄、NH₃，有机金属化合物LiOC₂H₅、Ba(OC₂H₅)₂、Cu(OC₂H₅)₂。本方法制得的超细微粒呈球形弥散颗粒尺寸＜100A化学量比的β—SiC纳米级超细微粒，该方法具有设备简单，操作方便，产率高，易在工业推广的优点。

主权项

1、一种管式纳米级超细微粒制备方法，其特征在于它是以金属蒸汽或者卤化物、氢化物气体和有机金属化合物为原料，在管式高温反应炉的真空和惰性气体中，通过气相加热和化学反应合成微粒，被急冷抽至粉末收集装置中的超细微粒制备方法。