| 发明名称 |
Method of nucleating tungsten on titanium nitride by cvd without silane |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU4633493(A) |
申请公布日期 |
1994.01.04 |
| 申请号 |
AU19930046334 |
申请日期 |
1993.06.11 |
| 申请人 |
MATERIALS RESEARCH CORPORATION |
发明人 |
ROBERT F FOSTER;DAMODARAN SRINIVAS |
| 分类号 |
C23C16/02;C23C16/04;C23C16/14;H01L21/285 |
主分类号 |
C23C16/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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