发明名称 DISPOSITIVO DE FIJACION PARA UN DISCO, ASI COMO SU APLICACION.
摘要 ESTE DISPOSITIVO SUJETADOR PARA DISCOS SEMICONDUCTORES (WAFER) ORIENTA Y ASEGURA EL DISCO DURANTE EL TRANSPORTE A LA POSICION DE MECANIZADO, PERO PUEDE PASAR FACILMENTE A UNA POSICION LIBRE DE LA SUPERFICIE SUPERIOR DE MECANIZADO, O BIEN ASEGURA LA POSICION WAFER CON AYUDA DE UN ANILLO QUE PERMANECE EN LA POSICION DE FUNCIONAMIENTO. DE ESTE MODO LA SUPERFICIE DEL DISCO FUNCIONA POR COMPLETO O CON UNA MINIMA PERDIDA DE RENDIMIENTO, Y AL MISMO TIEMPO LA MECANICA DE TRANSPORTE ESTA PROTEGIDA PARA UN OPTIMO CUMPLIMIENTO DE SUS FUNCIONES, COMO POR EJEMPLO EL RECUBRIMIENTO POR CAPAS O LA CAUTERIZACION. TODAS LAS PARTES QUE FUNCIONAN PERMANENTEMENTE PUEDEN CAMBIARSE CON FACILIDAD. EN CASO DE QUE EL DISCO SE QUEDE CLAVADO EN LA ESTACION DE MECANIZADO, SE ARRANCA MEDIANTE UN MECANISMO DE SEGURIDAD DE TRANSPORTE EN FORMA DE LLAVE.
申请公布号 ES2043970(T3) 申请公布日期 1994.01.01
申请号 ES19890112113T 申请日期 1989.07.03
申请人 BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 MOLL, EBERHARD, DR.;ZANARDO, RENZO
分类号 B23Q7/04;H01L21/00;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B23Q7/04
代理机构 代理人
主权项
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