发明名称 |
PROCEDE DE PRODUCTION DE COMPOSANTS EN OPTIQUE INTEGREE PAR ECHANGE D'IONS UTILISANT UN MASQUE EN SILICIUM, ET PROCEDES POUR LA REALISATION ET L'ELIMINATION FINALE DUDIT MASQUE. |
摘要 |
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申请公布号 |
FR2681855(B1) |
申请公布日期 |
1993.12.31 |
申请号 |
FR19910011923 |
申请日期 |
1991.09.27 |
申请人 |
CORNING INC |
发明人 |
BEGUIN ALAIN;PRESETTO JEAN-CLAUDE;LABORDE PASCALE |
分类号 |
C03C17/22;C03C21/00;G02B6/12;G02B6/13;G02B6/134;(IPC1-7):C03C21/00;C03C15/00;C23F1/10;C23F1/24 |
主分类号 |
C03C17/22 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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