发明名称 PROCEDE DE PRODUCTION DE COMPOSANTS EN OPTIQUE INTEGREE PAR ECHANGE D'IONS UTILISANT UN MASQUE EN SILICIUM, ET PROCEDES POUR LA REALISATION ET L'ELIMINATION FINALE DUDIT MASQUE.
摘要
申请公布号 FR2681855(B1) 申请公布日期 1993.12.31
申请号 FR19910011923 申请日期 1991.09.27
申请人 CORNING INC 发明人 BEGUIN ALAIN;PRESETTO JEAN-CLAUDE;LABORDE PASCALE
分类号 C03C17/22;C03C21/00;G02B6/12;G02B6/13;G02B6/134;(IPC1-7):C03C21/00;C03C15/00;C23F1/10;C23F1/24 主分类号 C03C17/22
代理机构 代理人
主权项
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