| 发明名称 |
APPARATUS FOR VACUUM DEPOSITION ON A NEGATIVELY BIASED SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3428546(A) |
申请公布日期 |
1969.02.18 |
| 申请号 |
USD3428546 |
申请日期 |
1966.09.27 |
| 申请人 |
ATOMIC ENERGY COMMISSION USA |
发明人 |
GARY ALLEN BAUM;RICHARD L. BENO;THEODORE VAN VOROUS |
| 分类号 |
C23C14/32;H01J37/36;(IPC1-7):C23C15/00 |
主分类号 |
C23C14/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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