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发明名称
Two stage cryopump.
摘要
申请公布号
EP0445503(B1)
申请公布日期
1993.12.29
申请号
EP19910100181
申请日期
1991.01.08
申请人
LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
HAEFNER, HANS-ULRICH, DR.;KLEIN, HANS-HERMANN, PROF. DR.;TIMM, UWE, PROF. DR.
分类号
F04B37/08;F25B9/14;F25D19/00;(IPC1-7):F04B37/08
主分类号
F04B37/08
代理机构
代理人
主权项
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