发明名称 FLOW REGULATOR ADAPTABLE FOR USE WITH EXHAUST FROM A PROCESS CHAMBER.
摘要 Pour régler le débit de l'air provenant d'une chambre de production, par exemple d'une salle propre, et envoyé vers un moyen d'échappement on agence à côté de l'écoulement un piston à montage mobile (5) relié à un registre monté mobile (96, 961) pour que l'écoulement se fasse directement à travers la face frontale (52) du piston. La face distale (51) du piston est exposée à une pression de référence, de préférence à la pression de la chambre de production. Le registre est monté de manière à freiner de manière variable l'écoulement en aval de la face frontale du piston. Une force de rappel, de préférence fournie par le poids du piston et du registre, tend à déplacer le piston de manière à réduire l'effet de freinage exercé par le registre sur l'écoulement.
申请公布号 EP0575523(A1) 申请公布日期 1993.12.29
申请号 EP19920908728 申请日期 1992.03.13
申请人 PALMER, DAVID 发明人 PALMER, DAVID
分类号 F16K31/12;F16K31/126;F24F3/16;F24F7/06;F24F11/04;F24F11/047;G05D7/00;G05D7/01;G05D7/06;G05D16/10;(IPC1-7):G05D7/00 主分类号 F16K31/12
代理机构 代理人
主权项
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