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发明名称 HIGH FREQUENCY DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05345972(A) 申请公布日期 1993.12.27
申请号 JP19920153543 申请日期 1992.06.12
申请人 JEOL LTD 发明人 HIDAKA SHINTARO;KATO TSUTOMU
分类号 C23C14/34;H01L21/203;H01L21/302;H01L21/3065;H03H7/40;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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