| 发明名称 |
MICROWAVE PLASMA TREATING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05347250(A) |
申请公布日期 |
1993.12.27 |
| 申请号 |
JP19930035781 |
申请日期 |
1993.02.24 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
TAKATSU KAZUMASA;ADACHI TOSHIO;KUROKAWA TAKESHI;KOGANEI AKIO;ECHIZEN YUTAKA;SUGIYAMA HIDEICHIRO |
| 分类号 |
H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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