| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE FOR EVALUATION OF ELEMENT PROPERTY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05347339(A) |
申请公布日期 |
1993.12.27 |
| 申请号 |
JP19920155094 |
申请日期 |
1992.06.15 |
| 申请人 |
MIYAZAKI OKI ELECTRIC CO LTD;OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
MIYAUCHI SATOSHI;FUKUDA TERUHISA |
| 分类号 |
G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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