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发明名称 METAL PLUG FORMING METHOD AND WAFRR TREATING DEVICE THEREBY
摘要
申请公布号 JPH05347270(A) 申请公布日期 1993.12.27
申请号 JP19920215406 申请日期 1992.07.21
申请人 SONY CORP 发明人 SHINOHARA KEIJI
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/90 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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