发明名称 FORMATION OF WIRING
摘要
申请公布号 JPH05347305(A) 申请公布日期 1993.12.27
申请号 JP19920179005 申请日期 1992.06.12
申请人 SONY CORP 发明人 HIRAYAMA TERUMINE
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L23/52;H01L29/41;H01L29/43;(IPC1-7):H01L21/320;H01L29/44;H01L29/46 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址