发明名称 |
MICROWAVE PLASMA GENERATING DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH05347196(A) |
申请公布日期 |
1993.12.27 |
申请号 |
JP19920180450 |
申请日期 |
1992.06.15 |
申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
SHIMADA MASARU;TORII YASUHIRO |
分类号 |
H01J37/317;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 |
主分类号 |
H01J37/317 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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