发明名称 PRODUCTION OF DIAMOND FILM
摘要
申请公布号 JPH05345696(A) 申请公布日期 1993.12.27
申请号 JP19920156663 申请日期 1992.06.16
申请人 JAPAN STEEL WORKS LTD:THE;IRIE KAZUTAKA 发明人 MIURA TAKESHI;IRIE KAZUTAKA
分类号 C23C14/22;C23C14/48;C30B29/04;(IPC1-7):C30B29/04 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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