发明名称 SCANNING TYPE TUNNEL MICROSCOPE AND DATA-RECORD REGENERATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05346303(A) 申请公布日期 1993.12.27
申请号 JP19920156965 申请日期 1992.06.16
申请人 CANON INC 发明人 KISHI ETSURO;TAKIMOTO KIYOSHI;KAWADE ISAAKI;KAWAGISHI HIDEYUKI
分类号 G01B7/34;G01Q10/06;G01Q60/10;G01Q60/12;G01Q80/00;G11B9/00;G11B9/14;H01J37/28;(IPC1-7):G01B7/34 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
地址